يمكن تقسيم أهداف الرش إلى أهداف مستوية وأهداف دوارة وفقًا لأشكالها. الأهداف المستوية هي أهداف طويلة، أو أهداف مربعة، أو أهداف مستديرة ذات سماكة معينة، وما إلى ذلك، والتي يتم تصنيعها عن طريق ربط هدف فارغ ولوحة دعم. أثناء الرش، يكون الهدف الفارغ والركيزة متوازيين مع بعضهما البعض، ويتم تشكيل مجال كهرومغناطيسي بين الهدف الفارغ والركيزة. الأهداف الدوارة هي أهداف أنبوبية، ويتشكل مجال كهرومغناطيسي تجاه الركيزة أثناء الرش. تعد الأهداف المستوية أكثر تنوعًا، ولكنها تتمتع بمعدل استخدام أقل؛ تتمتع الأهداف الدوارة بمعدل استخدام أعلى، ولكن تجانس الطلاء ضعيف.
مزايا الأهداف الدوارة
1. الأهداف الدوارة لديها استخدام أعلى للمواد
يمكن للأهداف الدوارة أن تستهلك سطح الهدف بالتساوي أثناء الدوران، وبالتالي تحسين استخدام المواد للهدف، والذي يمكن أن يصل عادةً إلى 70%-90%. ومع ذلك، نظرًا لأن جانبًا ثابتًا واحدًا فقط من الهدف المستوي متورط في الرش، سيتم تشكيل "أخاديد" أو "حفر" أثناء الاستخدام، مما يؤدي إلى استهلاك غير متساوٍ للمواد، ويكون معدل استخدام المواد بشكل عام 30%-40%. بالنسبة للأهداف باهظة الثمن (مثل المعادن الثمينة أو المواد الأرضية النادرة)، يمكن للأهداف الدوارة أن تقلل التكاليف بشكل كبير وتحسن الفوائد الاقتصادية.
2. الأهداف الدوارة تتمتع بتوحيد أفضل في الرش
تدور الأهداف الدوارة بشكل مستمر أثناء التشغيل، بحيث يتعرض كل موضع على سطح الهدف بالتساوي للبلازما، مما يشكل معدل رش أكثر اتساقًا. وهذا له مزايا واضحة للتطبيقات ذات المتطلبات العالية لتوحيد الأفلام (مثل شاشات العرض وعمليات أشباه الموصلات). تكون الأهداف المستوية عرضة لعدم تساوي سماكة الفيلم بسبب التناثر المحلي-، خاصة في الركائز ذات المساحة الكبيرة- أو الإنتاج المستمر.
3. الأهداف الدوارة لها عمر خدمة أطول
نظرًا لأن الأهداف الدوارة تستهلك مواد أكثر اتساقًا، فإن عمر خدمتها عادة ما يكون أطول من عمر الأهداف المستوية. وهذا يعني أنه في ظل نفس ظروف العمل، يكون تردد استبدال الهدف الدوار أقل، مما يقلل من وقت توقف المعدات ويحسن كفاءة الإنتاج. بالنسبة لبعض عمليات الإنتاج المستمرة، مثل -الطلاء بمساحة كبيرة والطلاء باللف-إلى-اللف، يمكن للهدف الدوار تمديد دورة الإنتاج بشكل كبير وتقليل تكاليف الصيانة.
4. تتمتع الأهداف الدوارة بجودة فيلم أعلى
تكون طبقة الفيلم المتناثرة بواسطة الهدف الدوار أكثر كثافة وأكثر تجانسًا، وهي مناسبة لبعض التطبيقات ذات المتطلبات العالية للغاية لجودة الفيلم (مثل -الأجهزة الإلكترونية المتطورة وتصنيع أجهزة أشباه الموصلات). وذلك لأن الهدف الدوار يمكن أن يقلل بشكل فعال من العيوب الناجمة عن الرش غير المتساوي على السطح المستهدف ويحسن جودة واتساق طبقة الفيلم.
خاتمة
بالمقارنة مع الأهداف المستوية، تتمتع الأهداف الدوارة باستخدام أعلى للمواد، وعمر خدمة أطول، وتأثير رش أكثر اتساقًا، وقدرة على التكيف مع مساحة كبيرة-وكمية إنتاج-كبيرة. وهذا يجعل الأهداف الدوارة خيارًا مهمًا في مجال ترسيب الأغشية الرقيقة الحديثة، خاصة في طلاء المساحات الكبيرة- والإنتاج المستمر وتصنيع الأجهزة الإلكترونية المتطورة-.